本站消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体器件及其制造方法”,专利申请号为CN202510480394.3专业股票网上配资,授权日为2025年7月22日。
专利摘要:本申请涉及一种半导体器件及其制造方法,包括:提供衬底,所述衬底内包括用于形成隔离沟槽的预设区域,且所述衬底靠近所述预设区域一侧的顶部拐角呈直角;向所述预设区域进行非晶化离子注入,以于所述预设区域内靠近衬底表面的一侧形成非晶化离子注入区,所述非晶化离子注入区延伸至所述预设区域两侧的衬底内,并使所述顶部拐角圆滑化;将所述非晶化离子注入区氧化并形成第一氧化层;去除所述第一氧化层中位于所述预设区域上方的部分,并去除所述预设区域内的衬底,以形成所述隔离沟槽,所述顶部拐角位于所述隔离沟槽的顶部开口两侧,且剩余的所述第一氧化层覆盖所述顶部拐角。本申请减少或避免了浅沟槽隔离结构中形成凹陷缺陷的概率。
今年以来晶合集成新获得专利授权224个,较去年同期增加了17.28%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目628次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1188条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。
数据来源:天眼查APP
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